照射面への照度の均一性を高めるために用いるレンズ(光学系)の総称。
代表的なものにフライアイレンズ(フライアイインテグレータ)、ロッドレンズ(ロッドインテグレータ)があります。
プロジェクタなどをはじめ、半導体露光装置の照明光学系にも用いられています。
照射面への照度の均一性を高めるために用いるレンズ(光学系)の総称。
代表的なものにフライアイレンズ(フライアイインテグレータ)、ロッドレンズ(ロッドインテグレータ)があります。
プロジェクタなどをはじめ、半導体露光装置の照明光学系にも用いられています。
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