希ガスやハロゲンなどの混合ガスを用いて発生されるレーザ（装置）。代表的な発振波長には以下のものがあります。

XeF（キセノン・フッ素） 351 nm
XeCl（キセノン・塩素） 308 nm
KrF（クリプトン・フッ素） 248 nm
ArF（アルゴン・フッ素） 193 nm