表面粗さ計測
白色干渉計(NewView)を使用し、表面粗さ(□0.05mm)から表面うねり(□10mm)の 空間周期の形状精度を0.1nm精度で保証します。 白色干渉計(NEWVIEW 9000 : ZYGO) 白色干渉法をLED光
白色干渉計(NewView)を使用し、表面粗さ(□0.05mm)から表面うねり(□10mm)の 空間周期の形状精度を0.1nm精度で保証します。 白色干渉計(NEWVIEW 9000 : ZYGO) 白色干渉法をLED光
精密コリメータを用いた偏芯測定器(Opticentric)により、レンズの光学偏芯精度を0.2μmで保証します。精密デジタルエンコーダステージを用いた精密角度測定器により、プリズムの角度精度を0.2秒で保証します。 透過
レーザー干渉計にZygo社の6インチVFA(VeriFire Asphere)を使用し、λ/40を保証します。(平面:3面合せ法、球面:二球面法を使用)スティッチング法により軸対称非球面レンズ、及び高NAレンズの面精度計
レーザー干渉計(Verifire ATZ)を用いたダブルパス測定によって、透過波面精度を評価します。単レンズから複数レンズのユニット品まで計測可能です。また、計測データ補正計算により使用環境での波長に合わせた波面評価を行
500×500×500mmの測定範囲において、複雑形状を高精度に測定する事ができます。円錐レンズや円筒レンズなどの形状測定、研削面のならい測定により、干渉計では測定できない表面の状態を評価する事ができます。 三次元計測器
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