白色干渉計(NewView)を使用し、表面粗さ(□0.05mm)から表面うねり(□10mm)の 空間周期の形状精度を0.1nm精度で保証します。
白色干渉計(NEWVIEW 9000 : ZYGO)
白色干渉法をLED光源を用いることで研磨面・研削面も高精度に測定が可能 | |
測定分解能:0.1nm 以下 | 測定サイズ:□0.05nm〜□10mm |
測定再現性:RMS 0.01nm 以下 |
高品位表面粗さ0.134nm(NewView)
白色干渉計(NewView)を使用し、表面粗さ(□0.05mm)から表面うねり(□10mm)の 空間周期の形状精度を0.1nm精度で保証します。
白色干渉法をLED光源を用いることで研磨面・研削面も高精度に測定が可能 | |
測定分解能:0.1nm 以下 | 測定サイズ:□0.05nm〜□10mm |
測定再現性:RMS 0.01nm 以下 |
高品位表面粗さ0.134nm(NewView)
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