白色干渉計（NewView）を使用し、表面粗さ（□0.05mm）から表面うねり（□10mm）の 空間周期の形状精度を0.1nm精度で保証します。
白色干渉計（ZYGO：NewView 9000）
| LED光源を用いた白色干渉法により、研磨面・研削面も高精度に測定が可能 | |
| 測定分解能 | 0.1nm以下 |
|---|---|
| 測定サイズ | □0.05mm〜□10mm |
| 測定再現性 | RMS 0.01nm以下 |
高品位表面粗さ0.134nm（NewView）
白色干渉計（NewView）を使用し、表面粗さ（□0.05mm）から表面うねり（□10mm）の 空間周期の形状精度を0.1nm精度で保証します。
| LED光源を用いた白色干渉法により、研磨面・研削面も高精度に測定が可能 | |
| 測定分解能 | 0.1nm以下 |
|---|---|
| 測定サイズ | □0.05mm〜□10mm |
| 測定再現性 | RMS 0.01nm以下 |
高品位表面粗さ0.134nm（NewView）
