光の回折とは、光が障害物の端に到達した際、その陰に回り込んだり、狭い隙間を通過する際に、単に直進する...

開口数（Numerical Aperture, NA）とは、光学系の光を集める能力（明るさ）と分解能...

フラットパネルディスプレイ（Flat Panel Display）の略で、液晶ディスプレイや有機EL...

極端紫外光。Extreme Ultravioletの略称。 主に半導体リソグラフィ用途に13.5nm...

波長546 nm の水銀のスペクトル線のこと。

光に位相差を与えるために光学系内に入れる透明板のこと。 直線偏光を円偏光あるいはその逆に変換する1/...

波長365 nm の水銀のスペクトル線のこと。半導体露光装置などに用いられます。（i線ステッパ）

希ガスやハロゲンなどの混合ガスを用いて発生されるレーザ（装置）。代表的な発振波長には以下のものがあり...

照射面への照度の均一性を高めるために用いるレンズ（光学系）の総称。 代表的なものにフライアイレンズ（...

デジタルカメラやスマートフォンのカメラ機能で使われる半導体センサ。レンズから入射した光を電気信号に変...