レーザー干渉計（Verifire ATZ）を用いたダブルパス測定によって、透過波面精度を評価します。単レンズから複数レンズのユニット品まで計測可能です。また、計測データ補正計算により使用環境での波長に合わせた波面評価を行うことも可能です。