X線は、波長が非常に短い光である。波長が1nm（ナノメートル：1ナノメートルは10億分の１メートル）近傍のX線を「軟X線」、波長が0.1nm近傍のX線を「硬X線」という。

軟X線は、材料の中でも酸素、炭素、などの軽元素の分析によく使われる。