- ピエゾステージとは
- ピエゾステージの動作原理
- ピエゾステージの応用例
1. ピエゾステージとは
ピエゾステージは、非常に小さな動きを正確に制御するための装置です。これは、光学設計や精密機器の製造など、高度な技術が求められる分野で使用されます。
2. ピエゾステージの動作原理
ピエゾステージは、圧電素子(ピエゾ素子)の性質を利用しています。圧電素子は力を加えると電圧を発生させ、逆に電圧を加えると微小な変形を起こす特性を持っています。この変形を利用して、ステージ上の物体を極めて正確に動かすことができます。
3. ピエゾステージの応用例
ピエゾステージは、光学機器のレンズ位置調整や半導体のリソグラフィー装置など、精密な位置決めが必要な多くの分野で活用されています。