BEAM HOMOGENIZER
ビームホモジナイザとは。
レーザーから出射されるビームは、一般的にガウシアン分布と呼ばれる強度分布を持ちます。中心が最も強く、周辺に向かって強度が減衰していく山型の分布です。この分布のまま素材に照射すると、中心部と周辺部で加工条件が変わり、均一な処理が難しくなります。
ビームホモジナイザは、このガウシアンビームをトップハット分布——照射面全体が均一な強度を持つ平坦な分布——に変換する光学ユニットです。照射範囲が均一になることで加工品質が向上し、広面積を一括処理することによるタクトタイム短縮、エネルギー効率の改善にも貢献します。
代表的な方式のひとつがフライアイ型で、ビームを微細なレンズアレイで多数に分割し、一点に重ね合わせることで均一化を実現します。分割数が増えるほど均一度は向上します。
対応仕様(例)
IR〜DUV 多波長対応(ハイブリッド)
矩形・円形・ライン 他
要望に応じてカスタム設計
kWクラス高出力・水冷機構 他
レンズ単体〜ユニット組み上げ
均一化
ガウシアンをトップハット分布に変換。照射ムラをなくす
ライン化
均一な強度を持つラインビームに整形。スキャン加工・検査に
集光
目的位置に光を絞る。スポットサイズと焦点距離を設計から最適化
拡大・縮小(ズーム)
ビーム径を任意のサイズに変換。光学系全体を考慮して設計
マルチスポット
1つの光源から複数スポットを生成。加工の効率化に
リング
環状の強度分布を生成。切削加工やレーザー溶接の制御に
大面積照射
広いエリアを均一に照射。乾燥・硬化・アニールなど面的な処理に
コリメート
発散する光源を平行ビームに整える。他の整形と組み合わせて光学系全体を設計
その他
上記以外の要件もまずはご相談ください
TOP-HAT LENS
夏目光学の
トップハットレンズ。
ブースでご覧いただいたのは、夏目光学が開発した屈折型ビームホモジナイザ「トップハットレンズ」です。
最大の特長は、レンズ1枚でガウシアンビームを矩形のトップハットビームに変換できること。スリットや複数枚のレンズを組み合わせる構成と比べ、システム全体の簡略化と小型化に貢献します。
シングルモードレーザーに対応しており、光学研磨によって製造されたレンズの高い透過効率が特長です。高出力レーザー加工にも適した設計で、微細加工など高いビーム品質が求められる用途に使われています。集光レンズを分離した構成も用意しており、ビームサイズの変更が必要な場合に対応できます。
使用波長・照射エリア・ワーキングディスタンス・均一性などの仕様は、お客さまとの打ち合わせをもとに設計から製作します。既製品では対応できなかった条件にも対応します。
CONTACT
光の使い方から、
一緒に考えます。
波長、照射エリア、均一性、ワーキングディスタンス——どこから話してもかまいません。現在の課題や使用条件を教えていただければ、設計の視点からご提案します。
INQUIRY FORM
波長、照射エリア、均一性——わかる範囲でご記入いただければ十分です。まだ仕様が固まっていない段階でも、お気軽にどうぞ。
※ Googleフォームが別タブで開きます。
※ 送信後、担当者よりご連絡いたします。